[发明专利]一种用于轴承内外套圈批量处理的离子注入方法

摘要

一种用于轴承内外套圈批量处理的离子注入方法，本发明涉及离子注入批量处理轴承内外套圈的方法，它为了解决现有采用全方位离子注入法处理内外套圈效率低的问题。离子注入方法：一、清洗轴承内套圈；二、轴承内套圈置于双轴式对滚轮之间，相邻轴承内套圈彼此之间紧密接触，打开高压脉冲电源进行溅射清洗；三、向真空室中通入N₂气，进行N离子注入；四、清洗轴承外套圈；五、轴承外套圈置于双轴式对滚轮之间，相邻轴承外套圈之间留有间隙，打开高压脉冲电源进行溅射清洗；六、向真空室中通入N₂，进行N离子注入处理。通过本发明轴承内外套圈批量处理方法得到的轴承内外套圈剂量分布均匀，一次性处理数量多，提高了离子注入的效率。

主权项

一种用于轴承内外套圈批量处理的离子注入方法，其特征在于是按以下步骤进行的：一、将多个轴承内套圈依次置于石油醚和酒精中超声清洗，每次超声清洗10～15min，得到清洗后的轴承内套圈；二、将清洗后的轴承内套圈置于真空室内水平放置的双轴式对滚轮之间，双轴式对滚轮由两个平行间隔排列圆管形的第一滚轮和第二滚轮组成，在第一滚轮和第二滚轮的管壁内填充有冷却剂，轴承内套圈与第一滚轮的外表面和第二滚轮的外表面同时接触，相邻轴承内套圈彼此之间紧密接触，关闭真空室后抽真空，通入Ar气使真空室内的真空度达到工作真空度，开启射频电源产生氩等离子体，然后打开高压脉冲电源进行溅射清洗处理，得到溅射清洗后的轴承内套圈；三、向真空室中通入N₂气使真空室内的真空度达到工作真空度，开启射频电源产生氮等离子体，然后打开高压脉冲电源进行N离子注入处理，取出轴承内套圈完成轴承内套圈的离子注入；四、将多个轴承外套圈依次置于石油醚和酒精中超声清洗，每次超声清洗10～15min，得到清洗后的轴承外套圈；五、将清洗后的轴承外套圈置于真空室内水平放置的双轴式对滚轮之间，轴承外套圈与第一滚轮的外表面和第二滚轮的外表面同时接触，相邻轴承外套圈之间留有间隙，关闭真空室后抽真空，通入Ar气使真空室内的真空度达到工作真空度，开启射频电源产生氩等离子体，然后打开高压脉冲电源进行溅射清洗处理，得到溅射清洗后的轴承内套圈；六、向真空室中通入N₂气使真空室内的真空度达到工作真空度，开启射频电源产生氮等离子体，然后打开高压脉冲电源进行N离子注入处理，取出轴承外套圈完成轴承外套圈的离子注入；其中步骤五相邻轴承外套圈之间的间隙为轴承外套圈直径的0.7～1.5倍。