[发明专利]一种固态紫外激光器由半导体激光器

摘要

本发明公开了一种二极管端面泵浦全固态紫外激光器，包括激光泵浦源、光学耦合系统、“V”型或“L”型或“Z”型折叠谐振腔、激光晶体、调Q开关、二次谐波晶体、三次谐波晶体和谐波分离镜；调Q方式产生的高峰值功率准连续基频激光经过倍频晶体产生绿激光，生产的绿激光与剩余的基波共同作用生产355nm紫外激光，未转化的绿光与紫外光经不同的路径输出，可形成绿光、紫外的双波长输出激光器；本发明可充分利用两种波长满足在实际应用中的需要，也可选择其中一种波长输出，拓宽了应用领域，系统效率高，结构紧凑，使用方便，可广泛应用于工业加工、科研、医疗、军事等领域。

主权项

一种二极管端面泵浦的全固态紫外激光器，包括激光泵浦源（1）、光学耦合系统（2）、激光谐振腔（3、4）、折叠镜（5）、激光晶体（8）、调Q开关（9）、二次谐波晶体（11）、三次谐波晶体（10）和谐波分离镜（6），其特征是：所述激光谐振腔为“V”型或“L”型或“Z”型折叠腔结构，“L”型折叠腔，其光路成“L”型，沿基频激光光路由全反镜（3）、折叠镜（5）和全反镜（4）构成；二次谐波晶体（11）、三次谐波晶体（10）、激光晶体（8）、谐波分离镜（6）和调Q开关（9）放置在激光谐振腔内；由激光泵浦光源（1）产生的泵浦光（14）通过光学耦合系统（2）的准直聚焦，再经过“L”型折叠镜（5）入射到晶体（8）内部并被晶体（8）充分吸收；经激光谐振腔（3、4）的谐振作用形成激光振荡，由于调Q开关（9）的作用形成脉冲基频激光；基频激光经过二次谐波晶体（11）发生倍频效应产生绿激光，剩余的基频激光和倍频绿激光再经过三次谐波晶体（10）产生紫外激光；紫外激光经过谐波分离镜（6）输出；剩余的倍频绿光经过折叠镜（5）输出。