[发明专利]一种石墨烯的制备方法及制备装置

摘要

本发明公开了一种石墨烯的制备方法及制备装置，该制备方法包括将片状金属基体悬空放置于反应室内，并使碳源材料接触片状金属基体；利用激光束对片状金属基体的一侧表面进行辐照，从而在片状金属基体的与激光束辐照面相反的一侧表面生成石墨烯；其中，片状金属基体的与激光束辐照面相反的一侧表面必须接触碳源材料。该制备装置包括反应室、基体支撑架、激光发射器、抽真空设备以及气体输入管；基体支撑架固定在反应室内，用于悬空设置片状金属基体；激光发射器所发射的激光束垂直辐照在片状金属基体的表面；抽真空设备和气体输入管均与反应室的内部连通。本发明实施例能够实现微纳尺寸结构的加工，不仅适用于各种波长的脉冲激光和连续激光，而且其碳源材料可以使用气态碳源，也可以使用固态碳源。

主权项

一种石墨烯的制备方法，包括：将片状金属基体置于反应室内的步骤，使碳源材料接触片状金属基体的步骤，以及利用激光束对片状金属基体进行辐照从而在片状金属基体表面生成石墨烯的步骤；其特征在于，将片状金属基体悬空放置于反应室内，并使碳源材料接触片状金属基体；利用激光束对片状金属基体的一侧表面进行辐照，从而在片状金属基体的与激光束辐照面相反的一侧表面生成石墨烯；其中，片状金属基体的与激光束辐照面相反的一侧表面必须接触碳源材料；所述的片状金属基体的厚度小于或等于20μm。