[发明专利]压电元件、液体喷射头以及液体喷射装置有效
申请号: | 201410493624.1 | 申请日: | 2014-09-24 |
公开(公告)号: | CN104512115A | 公开(公告)日: | 2015-04-15 |
发明(设计)人: | 酒井朋裕 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B41J2/045 | 分类号: | B41J2/045 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 金世煜;苗堃 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供防止密合层剥离且压电体层整体在(100)面优先取向的压电元件、液体喷射头以及液体喷射装置。压电元件(300)具备作为第1电极(60)的衬底层设置的密合层(56)、设置于密合层上的第1电极(60)、设置于第1电极上的压电体层(70)和设置于压电体层上的第2电极(80);密合层(56)由含铋、锰、铁和钛中的至少一个的具有钙钛矿结构的复合氧化物构成,第1电极(60)由在(100)面优先取向的金属构成,压电体层(70)由在(100)面优先取向的钙钛矿结构的复合氧化物构成。 | ||
搜索关键词: | 压电 元件 液体 喷射 以及 装置 | ||
【主权项】:
一种压电元件,其特征在于,具备作为第1电极的衬底层而设置的密合层、设置于所述密合层上的所述第1电极、设置于所述第1电极上的压电体层和设置于所述压电体层上的第2电极,其中,所述密合层由含铋、锰、铁和钛中的至少一个的具有钙钛矿结构的复合氧化物构成,所述第1电极由在(100)面优先取向的金属构成,所述压电体层由在(100)面优先取向的钙钛矿结构的复合氧化物构成。
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