[发明专利]一种CO2激光器智能补气系统及其控制方法

摘要

本发明涉及一种CO2激光器智能补气系统，包括供气系统和辅助补气系统，供气系统中设置受控于激光控制系统的进气比例阀或阀组件，用于控制进气量；辅助补气系统中设置受控于激光控制系统的变频器，用于控制真空泵的工作频率，受控于激光控制系统的抽废气比例阀，用于抽废气管路的开度大小，从而控制抽气速度，确保工作腔内的气压满足要求。两者结合，能够为谐振腔提供稳定的工作气体。由于本发明的进气和抽气根据激光器所需功率自动调节，因此使激光器的工作更稳定，也能节省工作气体。

主权项

一种CO2激光器智能补气系统，包括供气系统和辅助补气系统，所述供气系统包括与光学谐振腔进气口连接的工作气体进气管道、N2进气管道，所述N2进气管道上安装有充N2电磁阀，所述辅助补气系统包括与光学谐振腔出气口连接的抽真空管路和抽废气管路，所述抽真空管路上安装有主抽真空电磁阀，所述抽废气管路上安装有涡轮风机，所述抽真空管路和抽废气管路与真空泵连接，其特征在于：所述供气系统的工作气体进气管道上安装有受控于激光器控制系统的流量控制装置，光学谐振腔内装有用于监测光学谐振腔气压的气压传感器，所述抽废气管路上安装有位于涡轮风机后方的受控于激光器控制系统的抽废气比例阀，所述真空泵连接受控于激光器控制系统的变频器，激光器控制系统根据光学谐振腔内的气压变化控制真空泵转速、抽废气比例阀开度、流量控制装置的流量，使光学谐振腔内的气压达到目标值或维持稳定。