[发明专利]层分离设备有效
| 申请号： | 201410427746.0 | 申请日： | 2014-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN104425316B | 公开（公告）日： | 2017-07-25 |
| 发明（设计）人： | 沈亨基;金锺明;白种化;金炳秀 | 申请（专利权）人： | AP系统股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道华城市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种层分离设备，且更明确地说，涉及一种用于在柔性显示器工艺中将涂布层与基础衬底分离的设备。本发明的实施例层分离设备包含腔室，具有内部空间且在其上壁上设有窗口；激光辐射单元，经配置以通过所述窗口将激光束辐射到所述内部空间上；光源传感器，经配置以朝向所述内部空间中所设置的装置衬底发射光且接收从其反射的所述光；显示单元，经配置以显示从所述光源传感器测量的光接收值；以及衬底传递板，经配置以在所述腔室的所述内部空间中支撑所述装置衬底以在激光束辐射工艺期间传递所述装置衬底以在所述窗口下方滑动且在已完成所述激光束辐射工艺后传递所述装置衬底以在所述光源传感器下方滑动。 | ||
| 搜索关键词： | 分离 设备 | ||
【主权项】：
一种层分离设备，其特征在于包括：腔室，具有内部空间且在其上壁上设有窗口；激光辐射单元，经配置以通过所述窗口将激光束辐射到所述内部空间上；光源传感器，经配置以朝向设置在所述内部空间中的装置衬底发射光且接收从所述装置衬底反射的所述光；显示单元，经配置以显示从所述光源传感器测量的光接收值；以及衬底传递板，经配置以在所述腔室的所述内部空间中支撑所述装置衬底以在激光束辐射工艺期间传递所述装置衬底以在所述窗口下方滑动且在完成所述激光束辐射工艺后传递所述装置衬底以在所述光源传感器下方滑动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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