[发明专利]使用环境透射电子显微镜的方法以及环境透射电子显微镜

摘要

本发明公开了使用环境透射电子显微镜的方法以及环境透射电子显微镜。环境透射电子显微镜遭受气体诱发的分辨率劣化。已发现该劣化并不是样品上的电流密度的函数，而是电子束的总电流的函数。发明人得出结论，劣化是由于ETEM的样品室中的气体的电离而引起的，并且提出使用样品室中的电场来移除电离气体，从而减小气体诱发的分辨率劣化。电场不需要是强场，并且能通过例如使样品114相对于样品室138偏置而引起。经由电压源144施加的100V的偏置电压足以实现气体诱发的分辨率劣化的显著改善。极化并不是重要的。备选地，能通过例如将电偏置导线或纱网154离轴地放置在样品室中来使用垂直于光轴104的电场。

主权项

一种使用环境透射电子显微镜（100）的方法，所述环境透射电子显微镜包括： ·   电子源（102），用于产生电子束； ·   聚光镜系统（106），用于将电子束指引到样品（114）上，所述样品位于样品室（138）中； ·   成像系统（118），用于在检测器系统（126）上对透射通过样品的电子进行成像； ·   气体调节系统（128），用于调节样品室中的气体压力和气体组成，所述气体调节系统使样品室的至少部分中保持0.5与50 mbar之间的压力， 所述环境透射电子显微镜遭受气体诱发的分辨率劣化，其特征在于， 所述环境透射电子显微镜包括在样品室中产生去除所述电离气体的电场的装置（144、146、142），作为其结果，气体诱发的分辨率劣化被减小。