[发明专利]平版印刷用聚合物的制造方法、抗蚀剂组合物的制造方法及形成有图案的基板的制造方法有效

专利信息
申请号: 201410389110.1 申请日: 2014-08-08
公开(公告)号: CN104341551B 公开(公告)日: 2017-06-09
发明(设计)人: 安田敦;向井一晃 申请(专利权)人: 三菱丽阳株式会社
主分类号: C08F220/28 分类号: C08F220/28;C08F220/18;C08F6/10;G03F7/039
代理公司: 上海市华诚律师事务所31210 代理人: 刘香兰
地址: 日本国东京都千*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本申请提供一种未反应的单体或纯化工序中使用的不良溶剂的残存减少了的平版印刷用聚合物的制造方法。一种平版印刷用聚合物的制造方法,其具有聚合工序和纯化工序,所述聚合工序是使单体在聚合溶剂的存在下聚合,得到含有聚合物的聚合反应溶液的工序,所述纯化工序是将所述聚合反应溶液中的聚合物用再沉淀法纯化,得到纯化聚合物的湿粉的工序,所述纯化工序包括在过滤压差为50kPa以上的条件下进行过滤的工序,所述纯化聚合物的湿粉的固态成分含量超过40质量%、小于65质量%。
搜索关键词: 平板 印刷 聚合物 制造 方法 抗蚀剂 组合 形成 图案
【主权项】:
一种平版印刷用聚合物的制造方法,其具有聚合工序和纯化工序,所述聚合工序是使单体在聚合溶剂的存在下聚合,得到含有聚合物的聚合反应溶液的工序,所述纯化工序是将所述聚合反应溶液中的聚合物用再沉淀法纯化,得到纯化聚合物的湿粉的工序,所述纯化工序包括在过滤压差为50kPa以上的条件下进行过滤的工序,所述纯化聚合物的湿粉的固态成分含量超过40质量%、小于65质量%;进一步具有将所述纯化聚合物的湿粉溶于良溶剂的工序,直至所述纯化聚合物的湿粉溶于所述良溶剂时的该湿粉的温度为40℃以下。
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