[发明专利]感光性树脂组合物,感光性元件,光致抗蚀图形的形成方法及印刷电路板的制造方法有效

专利信息
申请号: 201410381648.8 申请日: 2006-05-22
公开(公告)号: CN104133343B 公开(公告)日: 2016-11-16
发明(设计)人: 宫坂昌宏;熊木尚 申请(专利权)人: 日立化成株式会社
主分类号: G03F7/033 分类号: G03F7/033;G03F7/09;G03F7/00;H05K3/06
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 金鲜英;何杨
地址: 日本东京都千*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及感光性树脂组合物,感光性元件,光致抗蚀图形的形成方法及印刷电路板的制造方法。本发明提供一种感光性树脂组合物,其含有(A)重均分子量40000~80000的粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、及(C1)下述通式(1)所表示的化合物:[化1]式(1)中,R至少1个表示碳数1~10的烷氧基、或碳数1~12的烷基,a、b及c的总和为1~6,a、b及c的总和为2~6时,而同一分子中的复数的各个R可相同或不同。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 元件 光致抗蚀 图形 形成 方法 印刷 电路板 制造
【主权项】:
一种感光性树脂组合物在用于通过直接绘图曝光法形成光致抗蚀图形中的应用,其特征为,所述感光性树脂组合物含有(A)重均分子量40000~80000的粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C1)下述通式(1)所表示的化合物,式(1)中,至少1个R表示碳数1~10的烷氧基,a、b及c的总和为1~6;a、b及c的总和为2~6时,各个R相同或相异,所述(B)成分含有含双酚A骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物。
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