[发明专利]光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS设备有效
| 申请号： | 201410348032.0 | 申请日： | 2014-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN104345365B | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 广久保望 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G02B26/00;G01J3/46;G01N21/65;G01N21/359 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供能够抑制性能降低的光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS设备。光学滤波器装置(600)具备：波长可变干涉滤波器(5)，具备设置有固定反射膜的固定基板(51)和设置有可动反射膜的可动基板(52)；壳体(610)，具有可容纳波长可变干涉滤波器(5)的内部空间(611)；以及固定部(7)，将波长可变干涉滤波器(5)固定于壳体(610)。固定部(7)设置在沿着固定基板(51)的厚度方向的侧面(517)与壳体(610)(内面(627B))之间。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 滤波器 装置 模块 电子设备 mems 设备 | ||
【主权项】：
1.一种光学滤波器装置，其特征在于，具备：干涉滤波器，具备第一反射膜、与所述第一反射膜相对的第二反射膜、以及设置有所述第一反射膜和所述第二反射膜中的任意一个的基板；壳体，具有能够容纳所述干涉滤波器的内部空间；以及固定部，将所述干涉滤波器固定于所述壳体，所述固定部设置在沿着所述基板的厚度方向的所述基板的侧面与所述壳体之间，所述侧面的一部分构成平面形状的第一侧面，所述固定部设置在所述第一侧面，所述固定部设置在所述第一侧面的一个位置。
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