[发明专利]光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS设备

说明书

提供能够抑制性能降低的光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS设备。光学滤波器装置(600)具备：波长可变干涉滤波器(5)，具备设置有固定反射膜的固定基板(51)和设置有可动反射膜的可动基板(52)；壳体(610)，具有可容纳波长可变干涉滤波器(5)的内部空间(611)；以及固定部(7)，将波长可变干涉滤波器(5)固定于壳体(610)。固定部(7)设置在沿着固定基板(51)的厚度方向的侧面(517)与壳体(610)(内面(627B))之间。

相关申请的交叉参考

2013年7月26日申请的日本专利申请No.2013-155345的全部公开内容结合于此作为参考。

技术领域

本发明涉及光学滤波器装置、光学模块、电子设备以及MEMS设备。

背景技术

现有技术中，已知有在一对基板彼此相对的面上隔着规定的间隙分别相对配置有反射膜的干涉滤波器、在基板上配置有反射膜的反射镜元件以及在基板上配置有水晶振动片等压电体的压电振动元件等各种MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)元件。并且已知有将这样的MEMS元件容纳在容纳用容器内的MEMS设备(例如参考专利文献1)。

在专利文献1中记载有具有板状的底座和圆筒状的盖的组件(壳体)的红外气体检测仪(光学滤波器装置)。该壳体的底部基板的周缘部分与盖的圆筒一端部焊接或粘合地连接，在底部基板与盖之间设置容纳法布里-珀罗滤波器(干涉滤波器)的空间。该干涉滤波器在构成该干涉滤波器的基板的下表面侧被粘合固定。

如上所述，专利文献1所记载的干涉滤波器在基板的下表面侧被粘合固定，在与基板的厚度方向正交的面方向与粘合剂粘合。粘合剂通常在固化时收缩，因此基板上被施加收缩产生的应力。因此，基板的下表面沿着面方向以粘合位置为中心受到应力，基板有可能产生挠曲。如果基板挠曲，则存在设置在基板上的反射膜变形，或反射膜间的间隙尺寸发生变化，干涉滤波器的分光精度下降的问题。

在上述的各种MEMS设备中同样，如果构成MEMS元件的基板产生挠曲，则存在因该挠曲的影响而导致MEMS元件的性能降低的问题。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2008-70163号公报

发明内容

本发明的目的在于提供能够抑制性能降低的光学滤波器装置、光学模块、电子设备以及MEMS设备。

本发明的光学滤波器装置，其特征在于，具备：干涉滤波器，具备第一反射膜、与上述第一反射膜相对的第二反射膜、及设置有上述第一反射膜和上述第二反射膜中的任意一个的基板；壳体，具有可容纳上述干涉滤波器的内部空间；以及固定部，将上述干涉滤波器固定在上述壳体，上述固定部设置在沿着上述基板的厚度方向的上述基板的侧面与上述壳体之间。

此外，作为固定部可以例示出各种粘合剂。在此，通常基板厚度方向的尺寸形成与正交于厚度方向的平面方向的尺寸相比足够小的尺寸。因此，相对于基板厚度方向的刚性(耐挠曲性)低于相对于平面方向的刚性。因此，如上所述，如果在基板的下表面等与侧面正交的基板表面设置固定部，则由于受到固定部施加的应力，基板有可能挠曲。

相对于此，根据本发明，干涉滤波器的基板通过设置在侧面的固定部固定于壳体。因此，通过将固定部设置在与基板表面相比针对挠曲的刚性更高的侧面，不容易受到应力的影响。因此，可以抑制因固定部的收缩应力和基板与固定部之间的线膨胀系数差产生的基板的挠曲。由此，可以抑制设置在基板上的反射膜的变形和反射膜间的间隙尺寸的变化，可以抑制干涉滤波器的分光精度的下降。