[发明专利]光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS设备

权利要求书

1.一种光学滤波器装置，其特征在于，

具备：

干涉滤波器，具备第一反射膜、与所述第一反射膜相对的第二反射膜、以及设置有所述第一反射膜和所述第二反射膜中的任意一个的基板；

壳体，具有能够容纳所述干涉滤波器的内部空间；以及

固定部，将所述干涉滤波器固定于所述壳体，

所述固定部设置在沿着所述基板的厚度方向的所述基板的侧面与所述壳体之间，

所述侧面的一部分构成平面形状的第一侧面，所述固定部设置在所述第一侧面，

所述固定部设置在所述第一侧面的一个位置。

2.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于，

所述干涉滤波器具备第一基板和第二基板作为所述基板，所述第一基板设置有所述第一反射膜，所述第二基板与所述第一基板相对并设置有所述第二反射膜，

所述固定部设置在所述第一基板和所述第二基板中的任意一方的所述侧面。

3.根据权利要求2所述的光学滤波器装置，其特征在于，

所述第一基板和所述第二基板中的任意一个基板在从厚度方向观察到的所述基板的俯视观察中具有向另一个基板突出的突出部，

所述固定部设置于所述突出部。

4.根据权利要求2所述的光学滤波器装置，其特征在于，

所述第二基板具备：可动部，所述可动部设置有所述第二反射膜；以及保持部，所述保持部使所述可动部在所述厚度方向上能够位移地保持所述可动部，

所述固定部设置在所述第一基板的所述侧面。

5.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于，

所述基板在从基板厚度方向观察到的该基板的俯视观察中，在沿着该基板的外周缘的一部分上具备电装部，所述电装部具有与设置于所述壳体的壳体侧端子电连接的连接端子，

所述第一侧面是所述电装部的侧面。

6.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于，

所述侧面包括平面形状的第一侧面以及与所述第一侧面平行的第二侧面，

所述固定部分别设置在所述第一侧面以及所述第二侧面。

7.根据权利要求6所述的光学滤波器装置，其特征在于，

设置在所述第一侧面的所述固定部和设置在所述第二侧面的所述固定部设置在相对于通过所述基板的中心、与所述第一侧面和所述第二侧面平行的虚拟平面对称的位置上。

8.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于，

所述侧面包括平面形状的第一侧面和与所述第一侧面连续并沿着与所述第一侧面交叉的平面的第三侧面，

所述固定部跨所述第一侧面和所述第三侧面而设置。

9.根据权利要求1所述的光学滤波器装置，其特征在于，

所述壳体具备将所述干涉滤波器支撑于所述壳体的支撑部，

所述固定部设置在所述侧面与所述支撑部之间。

10.一种光学模块，其特征在于，

具备：

权利要求1所述的光学滤波器装置；以及

检测部，检测通过所述干涉滤波器取出的光。

11.一种电子设备，其特征在于，

具备：

权利要求1所述的光学滤波器装置；以及

控制部，控制所述干涉滤波器。

12.一种MEMS设备，其特征在于，

具备：

MEMS元件，具备基板；

壳体，具有能够容纳所述MEMS元件的内部空间；以及

固定部，将所述MEMS元件固定于所述壳体，

所述固定部设置在沿着所述基板的厚度方向的所述基板的侧面与所述壳体之间，

所述侧面的一部分构成平面形状的第一侧面，所述固定部设置在所述第一侧面，

所述固定部设置在所述第一侧面的一个位置。