[发明专利]一种制备高灵敏表面增强拉曼散射基底的方法

摘要

一种制备高灵敏的表面增强拉曼散射基底的方法,属于分析检测技术领域。具体是在硅基底上构筑悬空纳米天线结构阵列，金属纳米结构的振动模式可以通过蒸镀的银的厚度控制，随着蒸镀银膜厚度的增加，悬空纳米天线的形貌与振动模式皆可发生突变。这种突变不仅使热点的强度增大，而且可以使热点位置从纳米天线的底部移动到顶部。在此基础上，借助银表面的疏水性导致的分子限域效应，增加了热点接触待测分子的可能性，提高了SERS基底的检测灵敏度。优化的悬空纳米天线阵列获得了更高的SERS灵敏度，其最大的SERS增强因子为9.8×109，最低检测浓度为10-12mol/L。

主权项

一种高灵敏度表面增强拉曼散射基底的制备方法，其步骤如下：A.将直径为200～600nm的聚苯乙烯胶体球排布在硅片表面形成单层胶体球阵列；B.利用氧气等离子体刻蚀的方法减小胶体球的直径，然后以被氧气刻蚀过的胶体球为挡层蒸镀厚度为20～40nm的金；再在四氢呋喃中将胶体球洗掉，从而得到排列在硅片表面的金纳米天线阵列；C.以金纳米天线阵列为挡层用等离子体刻蚀硅，这样就得到了悬空的金纳米天线阵列；D.在悬空的金纳米天线阵列上真空热蒸镀银膜，就得到了悬空纳米天线阵列；通过调节纳米天线表面覆盖的银膜厚度可以调控金属纳米结构的共振模式，在增强热点强度的同时，将热点的空间位置从纳米天线底部变为顶部，从而获得高灵敏度表面增强拉曼散射基底。