[发明专利]双光束延迟激光损伤测试系统

摘要

一种双光束延迟激光损伤测试系统，该系统由脉冲激光器、激光器控制器、七个反射镜、四个分光镜、两个环形可变中性密度滤波片、电控平移台、电机驱动器、主控计算机、电子快门、两个平凸透镜、三维电控样品台、光束质量分析仪、能量探测器、高分辨彩色CCD成像装置和白光光源构成。本发明利用计算机实行自动化控制，能进行不同脉宽激光对光学元件表面的激光损伤阈值测试。

主权项

一种双光束延迟激光损伤测试系统，特征在于其构成包括：由脉冲激光器(1)和激光器控制器(2)组成激光辐照控制单元并产生脉冲激光，沿该脉冲激光方向依次经第一反射镜(4)和第二反射镜(5)到第一分光镜(6)；第一分光镜(6)将脉冲光束分为反射光束和透射光束，所述的反射光束经第三反射镜(7)和第四反射镜(8)到第二分光镜(13)组成标准光路，所述的透射光束经第五反射镜(9)、第六反射镜(10)和第一环形可变中性密度滤波片(12)到第二分光镜(13)组成延迟光路；第五反射镜(9)和第六反射镜(10)固定在电控平移台(11)上，该平移台(11)与电机驱动器(27)相连，电机驱动器(27)与插在主控计算机(30)主板的运动控制卡(28)相连，组成延迟控制单元；所述的第二分光镜(13)将所述的标准光路的激光脉冲和所述的延迟光路的激光脉冲合束为主光束，该主光束依次经过第二环形可变中性密度滤波片(14)、电子快门(15)、第三分光镜(17)、第四分光镜(19)和第一平凸透镜(21)，最终聚焦在三维电控样品台(25)上的待测样品上；所述的电子快门(15)与快门驱动器(16)相连，该快门驱动器(16)与电机驱动器(27)相连组成脉冲控制单元；由所述的第三分光镜(17)分出的反射光依次经第七反射镜(18)和第二平凸透镜(22)聚焦于光束质量分析仪(26)，该光束质量分析仪与所述的主控计算机(30)相连组成光束质量分析单元；经所述的第四分光镜(19)分出的反射光束由能量探测器(20)接收，该能量探测器(20)的输出端与所述的主控计算机(30)的输入端相连组成能量监测单元；高分辨彩色CCD成像装置(23)对准主光束在所述的待测样品的焦点，所述的高分辨彩色CCD成像装置(23)与插在主控计算机(30)主板的图像采集卡(29)相连，组成损伤形貌实时监控单元；白光光源(24)对准所述的三维电控样品台(25)以辅助损伤探测照明；该三维电控样品台(25)与电机驱动器(27)相连组成样品三维运动单元。