[发明专利]大公斤数蓝宝石晶体的旋转扩肩稳定拉升法

摘要

本发明公开一种大公斤数蓝宝石晶体的旋转扩肩稳定拉升法，其步骤如下：升温化料，使原料正好熔化，熔汤温接近熔点；降晶杆，预热晶杆下方安装的籽晶；测温，调节控制熔汤温至长晶温度；引晶：将清洁的籽晶静置于液面上方使表面熔化，旋转晶杆，形成人造冷心后，执行引晶流程；再执行自动扩肩程序，匀速向上提拉晶杆，并调节加热器功率，逐渐降温，同时晶杆保持旋转直到晶体5kg后停止旋转，在0-5kg之间晶杆转速逐渐分阶段减速；晶体重量达10kg后，执行自动生长程序，匀速向上提拉晶杆，并调节加热器功率，逐渐降温；最后，脱离，冷却降温，晶体取出，完成整个长晶程序。本发明可以改善目前引晶及扩肩方式，提高成品率及良率。

主权项

大公斤数蓝宝石晶体的旋转扩肩稳定拉升法，其特征在于步骤如下：第一步，升温化料，使原料正好熔化，熔汤温接近熔点；第二步，降晶杆，预热晶杆下方安装的籽晶；第三步，测温，调节控制熔汤温至长晶温度； 第四步，引晶：将清洁的籽晶静置于液面上方5mm静止2‑3分钟，若籽晶呈现微熔，将籽晶插入熔汤液面下方2mm，并同时旋转晶杆，形成人造冷心后，执行引晶流程；第五步，扩肩：引晶完成后，执行自动扩肩程序，匀速向上提拉晶杆，并调节加热器功率，逐渐降温，同时晶杆保持旋转直到晶体5kg后停止旋转，在0‑5kg之间晶杆转速逐渐减速；第六步，晶身生长：晶体重量达10kg后，执行自动生长程序，匀速向上提拉晶杆，并调节加热器功率，逐渐降温；第七步，脱离，使完成生长晶体与坩锅完全分离；第八步，冷却降温，使完成脱离的晶体温度下降，并确保炉体不被氧化；第九步，晶体取出，使冷却降温后的蓝宝石单晶取出，完成整个长晶程序。