[发明专利]一种基于物料供应系统模型的流量控制方法有效
申请号: | 201410307167.2 | 申请日: | 2014-06-30 |
公开(公告)号: | CN104073785A | 公开(公告)日: | 2014-10-01 |
发明(设计)人: | 刘建涛;钟结实;王春洪;徐冬 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/52 | 分类号: | C23C16/52;C23C16/44 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;陈慧弘 |
地址: | 100016 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种基于物料供应系统模型的流量控制方法,该方法具体包括:根据物料供应系统特点建立传递函数反应模型;其中,物料供应系统包括流量控制机构和被控反应腔室,其中,被控反应腔室有压力计监控压力;定义偏差并引入参考输入偏差积分系统,建立增广状态状态方程;获取物料供应系统系统状态反馈控制律;通过物料供应系统的闭环特征方程式求得反馈控制律参数;根据被控反应腔室端的压力状态作为检测信号,以及反馈控制律参数,对被控反应腔室进行同步调节流量控制机构,实现了物料流量的优化控制及反应腔室的压力稳定。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 物料 供应 系统 模型 流量 控制 方法 | ||
【主权项】:
一种基于物料供应系统模型的流量控制方法,其特征在于,所述方法具体包括如下步骤:步骤S1:根据物料供应系统特点建立传递函数反应模型;其中,所述物料供应系统包括流量控制机构和被控反应腔室,被控反应腔室通过压力计监控压力;步骤S2:定义偏差并引入参考输入偏差积分系统,建立增广状态状态方程;步骤S3:获取物料供应系统系统状态反馈控制律;步骤S4:通过物料供应系统的闭环特征方程式求得反馈控制律参数;步骤S5:根据所述被控反应腔室端的压力状态作为检测信号,以及所述反馈控制律参数,对所述被控反应腔室进行同步调节流量控制机构,实现物料流量的优化控制。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的