[发明专利]位置检测装置、基板制造装置、位置检测方法及基板的制造方法有效
| 申请号： | 201410302738.3 | 申请日： | 2014-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN104249547B | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 渡边昭彦 | 申请（专利权）人： | 重机自动化系统有限公司 |
| 主分类号： | B41F15/26 | 分类号： | B41F15/26;B41F33/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够根据拍摄部所拍摄的图像中的对准标记的位置，更准确地计算实际的对准标记的位置的技术。位置检测装置具有拍摄部、存储部、控制部。上述拍摄部能够在与基准面相对的状态下沿所述基准面移动，对位于所述基准面上的对准标记进行拍摄。在上述存储部中，记录有换算信息，该换算信息构成为，与所述拍摄部的位置相对应而确定由所述拍摄部拍摄的图像的倍率。上述控制部使用在所述存储部中记录的所述换算信息，根据所述拍摄部的位置以及所述图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的位置进行计算。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 检测 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种位置检测装置，其具有：拍摄部，其能够在与基准面相对的状态下沿所述基准面移动，对位于所述基准面上的对准标记进行拍摄；存储部，其记录有换算信息，该换算信息构成为，与所述拍摄部的位置相对应而确定由所述拍摄部拍摄的图像的倍率；以及控制部，其使用在所述存储部中记录的所述换算信息，根据所述拍摄部的位置以及所述图像中的所述对准标记的位置，对所述基准面中的所述对准标记的位置进行计算。
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