[发明专利]膜边检测方法和膜边检测装置

摘要

本发明公开了一种膜边检测方法和膜边检测装置。所述膜边检测方法用于对衬底基板上方的图案化膜层的膜边进行检测，所述图案化膜层用于形成图案化图形和至少一个标尺图形，所述图案化膜层的膜边对应于所述标尺图形的边缘；所述膜边检测方法包括：获取所述标尺图形的边缘的图案化膜边标示值；根据所述图案化膜边标示值和预先设定的衬底基板边缘的基准值得出第一间距，所述第一间距为所述标尺图形的边缘与对应的所述衬底基板的边缘之间的距离。本发明提供的膜边检测方法和膜边检测装置的技术方案提高了生产良率以及降低了产品损失。

主权项

一种膜边检测方法，其特征在于，所述膜边检测方法用于对衬底基板上方的图案化膜层的膜边和/或非图案化膜层的膜边进行检测，所述图案化膜层用于形成图案化图形和至少一个标尺图形，所述图案化膜层的膜边对应于所述标尺图形的边缘；若所述膜边检测方法用于对图案化膜层的膜边进行检测时，所述膜边检测方法包括：获取所述标尺图形的边缘的图案化膜边标示值；根据所述图案化膜边标示值和预先设定的衬底基板边缘的基准值得出第一间距，所述第一间距为所述标尺图形的边缘与对应的所述衬底基板的边缘之间的距离；若所述膜边检测方法用于对非图案化膜层的膜边进行检测时，所述膜边检测方法包括：通过位于所述非图案化膜层上方或者下方的标尺图形获取所述非图案化膜层的边缘的非图案化膜边标示值；根据所述非图案化膜边标示值和预先设定的衬底基板边缘的基准值得出第二间距，所述第二间距为所述非图案化膜层的膜边与对应的所述衬底基板的边缘之间的距离。