[发明专利]多晶硅棒还原炉电气系统及其启动方法有效

专利信息
申请号: 201410258768.9 申请日: 2014-06-11
公开(公告)号: CN104003394A 公开(公告)日: 2014-08-27
发明(设计)人: 张玉泉;邓飞;薛涛;胡俊辉;李波;何克周;郑晨 申请(专利权)人: 陕西天宏硅材料有限责任公司
主分类号: C01B33/021 分类号: C01B33/021
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 712038 陕西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了多晶硅棒还原炉电气系统及其启动方法,特别涉及24对多晶硅棒还原炉的启动方法,包括:三圈布置的24对多晶硅棒,其中内圈分布4对多晶硅棒、中圈分布8对多晶硅棒、外圈分布12对多晶硅棒,上述24对多晶硅棒均连接调功柜电源,其中中圈分布8对多晶硅棒通过中圈隔离开关还连接有高压启动电源,其中内圈分布4对多晶硅棒还连接有四组晶闸管模块,且内圈中每对多晶硅棒对应一组反并联的晶闸管。该方法主要通过高压击穿中圈后全部交由正常电源供电,内圈在中圈的烘烤下通过交替模式运行击穿,等待内圈击穿后,外圈在内圈及中圈的烘烤下直接启动。
搜索关键词: 多晶 还原 电气 系统 及其 启动 方法
【主权项】:
多晶硅棒还原炉电气系统,其特征在于,包括:三圈布置的24对多晶硅棒,其中内圈分布4对多晶硅棒、中圈分布8对多晶硅棒、外圈分布12对多晶硅棒,上述24对多晶硅棒均连接调功柜电源,其中中圈分布8对多晶硅棒通过中圈隔离开关还连接有高压启动电源,其中内圈分布4对多晶硅棒还连接有四组晶闸管模块,且内圈中每对多晶硅棒对应一组反并联的晶闸管。
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