[发明专利]光扫描装置、光扫描控制装置以及光扫描单元有效
申请号: | 201410242735.5 | 申请日: | 2014-06-03 |
公开(公告)号: | CN104216112B | 公开(公告)日: | 2018-02-23 |
发明(设计)人: | 日比谷利一郎;关根久通 | 申请(专利权)人: | 三美电机株式会社 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人: | 曾贤伟,范胜杰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的目的在于提供光扫描装置、光扫描控制装置以及光扫描单元,能够抑制压电传感器的老化导致的输出电压的降低和噪声造成的影响。一种通过扭转梁从轴向两侧对支撑反射镜的反射镜支撑部进行支撑、并通过扭转梁的扭转使反射镜支撑部向绕轴方向摇动的光扫描装置具有驱动梁,其以夹持反射镜以及反射镜支撑部的方式而被成对设置;连接梁,其用于连接驱动梁的一侧和扭转梁;以及压电传感器,其形成于连接梁上,当向驱动梁施加驱动电压而使反射镜摇动时,对绕扭转梁的轴的摇动引起的连接梁的位移进行检测,压电传感器向上部电极施加正极或负极第一偏压,向下部电极施加与施加到上部电极的偏压极性相反的第二偏压。 | ||
搜索关键词: | 扫描 装置 控制 以及 单元 | ||
【主权项】:
一种光扫描装置,其为通过扭转梁从轴向两侧对支撑反射镜的反射镜支撑部进行支撑、并通过所述扭转梁的扭转使所述反射镜支撑部向绕轴方向摇动的光扫描装置,其特征在于,所述光扫描装置具有:驱动梁,其以夹持所述反射镜以及所述反射镜支撑部的方式而被成对设置;连接梁,其用于连接所述驱动梁的一侧和所述扭转梁;以及压电传感器,其形成于所述连接梁上,当向所述驱动梁施加驱动电压而使所述反射镜摇动时,对绕所述扭转梁的轴的摇动引起的所述连接梁的位移进行检测,所述压电传感器向上部电极施加正极或负极第一偏压,同时向下部电极施加与所述第一偏压极性相反的第二偏压。
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