[发明专利]一种用于MASSON快速热处理机台的温度校准的方法

摘要

公开一种用于MASSON快速热处理机台的温度校准的方法。其包括提供具有第一高温计的参考机台、具有第二高温计的待校准机台和具有热电偶的校准基片；将校准基片置于参考机台内；在预定热处理菜单下对校准基片进行热处理，通过热电偶测量校准基片的第一温度曲线；将校准基片置于待校准机台内，并将预定热处理菜单复制到待校准机台，在待校准机台内在预定热处理菜单下对校准基片进行热处理；在待校准机台的校温菜单内根据第二高温计和热电偶测得的温度曲线绘制校温曲线；在待校准机台的调节菜单内调整校温曲线的偏移量，使热电偶测量的校准基片的第二温度曲线与第一温度曲线在主工艺阶段匹配，得到校准后的热处理菜单。该方法效率高成本低。

主权项

一种用于MASSON快速热处理机台的温度校准的方法，用于实现待校准机台的热处理菜单的校准，其特征在于，所述方法包括：a)提供参考机台、待校准机台和校准基片，其中，所述参考机台和所述待校准机台内分别设置有第一高温计和第二高温计，所述校准基片上设置有用于测量所述校准基片的温度的热电偶；b)将所述校准基片放置在所述参考机台内；c)在预定热处理菜单下对所述校准基片进行热处理，并通过所述热电偶测量所述校准基片的第一温度曲线；d)将所述校准基片放置在所述待校准机台内，并将所述预定热处理菜单复制到所述待校准机台，以在所述待校准机台内在所述预定热处理菜单下对所述校准基片进行热处理；e)在所述待校准机台的校温菜单内根据所述第二高温计和所述热电偶测得的温度曲线绘制校温曲线；以及f)在所述待校准机台的调节菜单内调整所述校温曲线的偏移量，以使所述热电偶测量的所述校准基片的第二温度曲线与所述第一温度曲线在热处理的主工艺阶段匹配，得到校准后的热处理菜单。