[发明专利]等离子体压力探针及利用其测量压力的系统有效
| 申请号： | 201410147818.6 | 申请日： | 2014-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN103884467A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 张文强;李帆;林峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院工程热物理研究所 |
| 主分类号： | G01L23/08 | 分类号： | G01L23/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体压力探针及利用其测量压力的系统，该等离子体压力探针包括金属电极、石英套管、绝缘套管和金属镀膜，金属电极采用导电金属制成，固定在绝缘套管中；绝缘套管嵌套在石英套管内表面，采用石英、陶瓷或聚四氟乙烯材料，用于连接和固定石英套管与金属电极；石英套管采用高纯度透明石英制成，能够耐至少1000℃的高温，同时保护内部的金属电极和绝缘套管；金属镀膜采用电镀的方式在石英套管的外表面生成厚度为0.03-0.04mm的镀膜。等离子体压力探针结构简单、布置灵活，空间分辨率高，可以进一步提高动态压力测量的频响，对温度不敏感的同时可以在高温环境中使用，尤其适合叶轮机械内部流场测量。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 压力 探针 利用 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种等离子体压力探针，其特征在于，该等离子体压力探针包括金属电极(101)、石英套管(102)、绝缘套管(103)和金属镀膜(104)，其中：金属电极(101)采用导电金属制成，固定在绝缘套管(103)中，与连接等离子体激励器的高压线(305)相连接；绝缘套管(103)嵌套在石英套管(102)内表面，采用石英、陶瓷或聚四氟乙烯材料，用于连接和固定石英套管(102)与金属电极(101)；石英套管(102)采用纯度至少为99.99％的高纯度透明石英制成，能够耐至少1000℃的高温，同时保护内部的金属电极(101)和绝缘套管(103)；金属镀膜(104)采用电镀的方式在石英套管(102)的外表面生成厚度为0.03‑0.04mm的镀膜，与等离子体激励器的地线相连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院工程热物理研究所，未经中国科学院工程热物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410147818.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：ESD保护结构、集成电路和半导体器件
- 下一篇：一种污水净化装置
