[发明专利]硅微谐振式加速度计有效
| 申请号： | 201410129549.0 | 申请日： | 2014-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN103901225A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 董景新;赵淑明;刘云峰 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 | 代理人： | 哈达 |
| 地址： | 100084 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅微谐振式加速度计，主要包括：一玻璃基底；硅微机械结构键合在玻璃基底表面，所述硅微机械结构包括一质量块及四个硅微机械结构单元，所述质量块为一中心对称结构，所述四个硅微机械结构单元围绕所述质量块两两对称设置；每一硅微机械结构单元包括一组谐振式双端音叉、一组微机械杠杆及一组解耦导向支撑，所述解耦导向支撑一端与所述质量块连接接收惯性力，另一端与所述微机械光杆的一力输入端相连，通过微机械杠杆的一力输出端将接收的惯性力传递给所述谐振式双端音叉。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振 加速度计 | ||
【主权项】：
一种硅微谐振式加速度计，主要包括：一玻璃基底；硅微机械结构键合在玻璃基底表面，所述硅微机械结构包括一质量块及四个硅微机械结构单元，所述质量块为一中心对称结构，所述四个硅微机械结构单元围绕所述质量块两两对称设置；每一硅微机械结构单元包括一组谐振式双端音叉、一组微机械杠杆及一组解耦导向支撑，所述解耦导向支撑一端与所述质量块连接接收惯性力，另一端与所述微机械光杆的一力输入端相连，通过微机械杠杆的一力输出端将接收的惯性力传递给所述谐振式双端音叉。
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