[发明专利]沟槽加工工具、及使用其的沟槽加工装置

摘要

本发明是有关于一种沟槽加工工具、及使用其的沟槽加工装置。该沟槽加工工具(2)，具备保持部(21)及加工部(22)。保持部(21)，是被保持于保持具(41)的部分。加工部(22)，形成于保持部(21)的前端，且具有沟槽加工用的刀刃(222)。在沟槽加工工具(2)进行形成沟槽时的姿势中，与主面(W1)平行的面中的刀刃(222)的剖面形状，是沿与主面(W1)垂直的方向一定。本发明能延长沟槽加工工具的寿命。

主权项

一种沟槽加工工具，是被保持于保持具，并与该保持具一起移动而用以在基板的主面形成往该移动方向延伸的沟槽，其特征在于，具备：保持部，是被保持于该保持具；以及加工部，是形成于该保持部的前端，且具有沟槽加工用的刀刃；在该沟槽加工工具进行形成该沟槽时的姿势中，与该主面平行的面中的该刀刃的剖面形状，是沿与该主面垂直的方向一定。