[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体

摘要

振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动元件（1）具有压电基板（2），该压电基板（2）包含振动部（21）和厚度比振动部（21）厚的厚壁部（22）。并且，厚壁部（22）具有：沿着振动部（21）的第1外缘（211）设置的第1厚壁部（23）、沿着第2外缘（212）设置的第2厚壁部（24）、以及沿着第3外缘（213）设置的第3厚壁部（25），当设第2厚壁部（24）在振动方向的最大尺寸为Lmax，最小尺寸为Lmin时，平均尺寸（Lmax＋Lmin）/2为100μm以下。

主权项

1.一种振动元件，其特征在于，该振动元件包含：基板，其包含第1区域和第2区域，所述第1区域包含以厚度剪切振动进行振动的振动区域，所述第2区域与所述第1区域一体，厚度比所述第1区域厚；以及激励电极，其分别设置于所述振动区域的正面和背面，所述第1区域包含设置于所述厚度剪切振动的振动方向的一端的第1外缘和设置于另一端的第2外缘，所述第1外缘和所述第2外缘在与所述振动方向交叉的方向上延伸，所述第1区域包含设置于与所述振动方向交叉的方向的一端的第3外缘和设置于另一端的第4外缘，所述第4外缘从所述基板的侧面露出，所述第2区域包含：第1厚壁部，其沿着所述第1外缘设置，设置有固定于对象物的固定部；第2厚壁部，其沿着所述第2外缘设置；以及第3厚壁部，其沿着所述第3外缘设置且与所述第1厚壁部和所述第2厚壁部连接，当设所述第2厚壁部沿着所述振动方向的最大尺寸为Lmax，最小尺寸为Lmin时，平均尺寸(Lmax+Lmin)/2为40μm以上、100μm以下，当设所述第3厚壁部沿着与所述振动方向垂直的方向的最大尺寸为L2max，最小尺寸为L2min时，平均尺寸(L2max+L2min)/2为200μm以上，所述基板的沿所述振动方向的长度为5mm以下，所述基板的沿与所述振动方向交叉的方向的长度为3mm以下。