[发明专利]波前相位校正装置

摘要

本发明涉及光学仪器领域，提供了三种波前相位校正装置。针对现有技术中连续表面变形镜阵列密度受限、波前校正效果有限且制造工艺要求高、制造成本高的问题，本发明将一个完整的多致动器致动的连续表面变形镜分割成多个由单致动器或小数目致动器组致动的连续表面变形镜单元，并对于不同的应用情形，提供了单点单层式、单点双层式和多点式的波前相位校正装置，能够增大波前相位校正的等效致动器密度，从而优化了波前相位校正效果，简化了连续表面变形镜的制造工艺、降低制作成本。

主权项

1.一种单点双层式波前相位校正装置，其特征在于，该装置包括多个连续表面变形镜单元，每个所述连续表面变形镜单元由一个对应的致动器致动；所述连续表面变形镜单元排成工作表面平行相对的两层，用于使光波在两层连续表面变形镜单元间依次发生反射；每个连续表面变形镜单元用于对光波波前的一个对应局部范围进行相位校正；所述连续表面变形镜单元进一步以阵列的形式排成工作表面平行相对的两层；以光波在所述工作平面上的行进方向为行向，第n列连续表面变形镜单元相对于第1列连续表面变形镜单元的间距为(n‑1)(d+2x)；上层第i列与下层第i列的间距为d/2+x；其中d为同一层两个反射点的间距，x为光波在工作平面上的行进方向上的等效致动器间距。