[发明专利]波前相位校正装置

权利要求书

1.一种单点双层式波前相位校正装置，其特征在于，该装置包括多个连续表面变形镜单元，每个所述连续表面变形镜单元由一个对应的致动器致动；所述连续表面变形镜单元排成工作表面平行相对的两层，用于使光波在两层连续表面变形镜单元间依次发生反射；每个连续表面变形镜单元用于对光波波前的一个对应局部范围进行相位校正；所述连续表面变形镜单元进一步以阵列的形式排成工作表面平行相对的两层；以光波在所述工作平面上的行进方向为行向，第n列连续表面变形镜单元相对于第1列连续表面变形镜单元的间距为(n-1)(d+2x)；上层第i列与下层第i列的间距为d/2+x；其中d为同一层两个反射点的间距，x为光波在工作平面上的行进方向上的等效致动器间距。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括多个光波转向装置，用于使已被前一行连续表面变形镜单元进行过波前相位校正的光波沿行向以相同入射角入射到下一行的最后一个连续表面变形镜单元上，并使得下一行与上一行中同列连续表面变形镜单元的对应局部范围中心点间距为光波在工作平面上行进方向的垂直方向上的等效致动器间距。

3.一种单点单层式波前相位校正装置，其特征在于，该装置包括多个连续表面变形镜单元和一个标准平面反射镜，每个所述连续表面变形镜单元由一个对应的致动器致动；所述连续表面变形镜单元排成工作平面与所述标准平面反射镜平行相对的一层，用于使光波在该层连续表面变形镜单元与标准平面反射镜间依次发生反射；每个连续表面变形镜单元用于对光波波前的一个对应局部范围进行相位校正；所述连续表面变形镜单元进一步以阵列的形式排成工作平面与所述标准平面反射镜平行相对的一层；以光波在所述工作平面上的行进方向为行向，第n列连续表面变形镜单元相对于第1列连续表面变形镜单元的间距为(n-1)(d+x)；其中d为同一层两个反射点的间距，x为光波在工作平面上的行进方向上的等效致动器间距。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述装置还包括多个光波转向装置，用于使经过前一行的波前相位校正后的光波沿行向以相同入射角入射到下一行的标准平面变形镜或最后一个连续表面变形镜单元上，并使得下一行与上一行中同列连续表面变形镜单元的对应局部范围中心点间距为光波在工作平面上行进方向的垂直方向上的等效致动器间距。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的装置，其特征在于，所述连续表面变形镜单元的内切圆半径R满足

其中φ为入射光波直径，θ为光波入射角。

6.根据权利要求1至4中任意一项所述的装置，其特征在于，所述连续表面变形镜单元的材料为玻璃。

7.根据权利要求1至4中任意一项所述的装置，其特征在于，所述致动器可以是压电陶瓷致动器、电磁力致动器、静电力致动器或其他任意一种可以改变镜面面型的致动器。