[发明专利]一种螺旋形研磨盘

摘要

本发明涉及一种螺旋形研磨盘，适用于光学元件、非晶薄膜衬底等工件表面的研磨与抛光加工。它包括研磨盘、转动装置和工件进给机构，研磨盘的底部连接转动装置，研磨盘表面上装有螺旋形挡板,研磨盘的表面粒度随着螺旋形挡板梯度式变化；工件在工件进给机构的带动下沿着螺旋形挡板运动。本发明结构简单紧凑，成本较低，自动化程度高，通过螺旋形研磨盘的磨料粒度梯度化设计，可以对工件分别进行从粗磨到精抛的不同程度的加工；研磨抛光盘转动的时候工件也会跟着自转运动，二者的共同作用下可实现待加工表面的加工纹理无序化从而提高了加工效率与质量。

主权项

一种螺旋形研磨盘，包括研磨盘、转动装置和工件进给机构，研磨盘的底部连接转动装置，其特征在于：所述研磨盘表面上装有螺旋形挡板,所述研磨盘的表面粒度随着螺旋形挡板梯度式变化；所述工件进给机构包括工件安装头、工件安装轴、滑台、气缸、气缸座、直线导轨和滚珠丝杠，所述滑台连接水平放置的滚珠丝杠和直线导轨，所述滚珠丝杠和直线导轨平行放置，滚珠丝杠的一端连接驱动装置，滑台在滚珠丝杠和直线导轨的作用下在水平放下移动；所述滑台上设有竖直向下的轴孔，所述工件安装轴穿过滑台上的轴孔，所述工件安装轴的底部通过轴承连接工件安装头；所述工件安装轴的顶部通过联轴器连接气缸的活塞杆，所述气缸通过气缸座固定在滑台上。