[发明专利]一种导模法蓝宝石晶体自动控制方法无效
| 申请号： | 201410065770.4 | 申请日： | 2014-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN103806091A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 黄荣峰;李聪聪;黄雅莹 | 申请（专利权）人： | 闽能光电集团有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361009 福建省漳*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种导模法蓝宝石晶体自动控制方法，所述自动控制方法是在蓝宝石导模法生长全过程中利用配套设备产生数据及数据见的换算进行配套自动控制，而所述配套设备为工控机、欧陆表、重量传感器及电源，通过功率值+电位值-重量值=PV值，并利用设置生长参数斜率为Pr=nalv，实现在利用导模法蓝宝石晶体生长过程中进行闭环控制，其中n为晶体片数、a为晶体厚度、v为拉速、ρ为密度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导模法 蓝宝石 晶体 自动控制 方法 | ||
【主权项】：
一种导模法蓝宝石晶体自动控制方法，其特征在于：所述自动控制方法是在蓝宝石导模法生长全过程中利用配套设备产生数据及数据见的换算进行配套自动控制，而所述配套设备为工控机、欧陆表、重量传感器及电源，通过功率值+电位值‑重量值= PV值，并利用设置生长参数斜率为Pr=nalv，实现在利用导模法蓝宝石晶体生长过程中进行闭环控制，其中n为晶体片数、a为晶体厚度、v为拉速、ρ为密度。
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