[发明专利]图案检查装置及图案检查方法无效
| 申请号： | 201410053709.8 | 申请日： | 2014-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN103995008A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 藤原成章 | 申请（专利权）人： | 大日本网屏制造株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/958 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 金相允;向勇 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及图案检查装置及图案检查方法。图案检查装置具有：第一图像获取部，将来自第一光源部的光照射至薄膜状的透明基材的形成有图案的第一主表面，使第一受光部接受该光被图案上表面反射的反射光，获取上表面反射图像；第二图像获取部，将来自第二光源部的光照射至透明基材的第二主表面，使第二受光部接受该光被图案下表面反射的反射光，获取下表面反射图像，该图案下表面是与第一主表面接触的面；检查部，基于上表面反射图像和下表面反射图像来获取图案的检查结果。通过对基于来自图案上表面的反射光而形成的上表面反射图像和基于来自图案下表面的反射光而形成的下表面反射图像进行比较，能够容易地检查出图案要素下端的变粗或变细情况。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种图案检查装置，用于检查透明基材上的图案，其特征在于，包括：第一图像获取部，其将来自第一光源部的光照射至板状或薄膜状的透明基材的形成有图案的一侧主表面，使第一受光部接受所述光被所述图案的上表面反射的反射光，由此获取上表面反射图像；第二图像获取部，其将来自第二光源部的光照射至所述透明基材的另一侧主表面，使第二受光部接受所述光被所述图案的下表面反射的反射光，由此获取下表面反射图像，其中，所述图案的下表面是与所述一侧主表面接触的面；检查部，其基于所述上表面反射图像和所述下表面反射图像来获取所述图案的检查结果。
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