[发明专利]LaNiO3薄膜形成用组合物及使用该组合物的LaNiO3薄膜的形成方法

摘要

本发明提供一种LaNiO3薄膜形成用组合物、及使用该组合物的LaNiO3薄膜形成方法，其课题在于形成一种极少产生空隙的均匀的LaNiO3薄膜。本发明的LaNiO3薄膜形成用组合物包含LaNiO3前驱体；第1有机溶剂，选自羧酸、醇、酯、酮类、醚类、环烷类、芳香族系及四氢呋喃中的一种或两种以上；稳定剂，选自β‑二酮、β‑酮类、β‑酮酯类、含氧酸类、二醇、三醇、羧酸、烷醇胺及多元胺中的一种或两种以上；及第2有机溶剂，沸点为150～300℃且具有20～50dyn/cm的表面张力，其中，组合物100质量%中的LaNiO3前驱体的比例以氧化物换算为1～20质量%，稳定剂的比例相对于组合物中的LaNiO3前驱体的总量1摩尔超过0且为10摩尔以下，组合物100质量%中的第2有机溶剂的比例为5～20质量%。

主权项

一种LaNiO3薄膜形成用组合物，其为用于形成LaNiO3薄膜的组合物，所述LaNiO3薄膜形成用组合物的特征在于，所述组合物包含：LaNiO3前驱体；第1有机溶剂，选自羧酸、醇、酯、酮类、醚类、环烷类、芳香族系及四氢呋喃中的一种或两种以上；作为稳定剂的烷醇胺；及第2有机溶剂，沸点为150～300℃且具有20～50dyn/cm的表面张力，所述组合物100质量％中的所述LaNiO3前驱体的比例以氧化物换算为1～20质量％，所述稳定剂的比例相对于所述组合物中的LaNiO3前驱体的总量1摩尔超过0且为10摩尔以下，所述组合物100质量％中的所述第2有机溶剂的比例为5～20质量％。