[发明专利]扫描头及运用此扫描头的扫描臂

摘要

一种组装于一种离子布植机的扫描臂和其扫描头，其中扫描头适于微幅倾斜一工件，并且包括一外壳、一轴组件、一静电夹具、一第一个驱动机构以及一微倾斜机构。轴组件穿过外壳的一第一侧，并且具有一扭转轴。静电夹具固定于轴组件在外壳外的一第一端上，用以固持工件。第一驱动机构配置于外壳内，并且适于驱动轴组件和静电夹具绕着扭转轴旋转。微倾斜机构配置于外壳内，并且适于驱动轴组件和静电夹具相对于外壳倾斜。

主权项

一种扫描头，组装于用于一离子布植机的一扫描臂，适于微幅倾斜一工件，其特征在于，该扫描头包括：一外壳；一轴组件，穿过该外壳的一第一侧，并且具有一扭转轴；一静电夹具，固定于该轴组件在该外壳外的一第一端上，用以固持该工件；一第一驱动机构，配置于该外壳内，并且适于驱动该轴组件和该静电夹具绕着该扭转轴旋转；以及一微倾斜机构，配置于该外壳内，并且适于驱动该轴组件和该静电夹具相对于该外壳倾斜。