[发明专利]一种镍酸镧导电薄膜的化学溶液沉积制备方法

摘要

本发明涉及微电子制造技术领域内的一种镍酸镧导电薄膜的化学溶液沉积制备方法，其步骤主要包括LaNiO3溶胶的制备，然后采用浸渍提拉法或旋转涂覆法，在基片上制备LaNiO3凝胶膜，再将凝胶膜干燥形成LaNiO3凝胶干膜；然后将覆盖有LaNiO3凝胶干膜的基片转入石英管式加热炉中，在H­2O、O2混合气氛下进行热分解；最后将热分解后的凝胶干膜，连同其基片放入石英管式烧结炉中，在H2O、O2混合气氛下进行高温煅烧，最终在基片上形成导电薄膜。该方法形成的导电薄膜的电阻率更低。

主权项

一种镍酸镧导电薄膜的化学溶液沉积制备方法，其特征在于包括如下步骤：1）将醋酸镍溶解在有机溶剂中，加入络合剂，经过搅拌1~3小时，获得澄清溶液后，再加入硝酸镧粉末，继续搅拌至澄清，获得LaNiO3溶胶；所述LaNiO3溶胶中醋酸镍、硝酸镧、络合剂、有机溶剂的摩尔比为1: （1.2~1.4）:（2~5）:（20~40）；2）将步骤1）制备的LaNiO3溶胶，采用浸渍提拉法或旋转涂覆法，在基片上制备LaNiO3凝胶膜，随后将覆盖有LaNiO3凝胶膜的基片在100~150℃的温度下干燥5~20min，使LaNiO3凝胶膜干燥形成LaNiO3凝胶干膜；3）将覆盖有LaNiO3凝胶干膜的基片转入石英管式加热炉中，在H2O、O2混合气氛下进行热分解；所述H2O、O2混合气氛中，H2O的体积百分比为1.3~8vol%，热分解时，以5~10℃/min的速率升温至380~420℃，保温5~10min后随炉冷却至室温；H2O、O2混合气氛的实现方法如下：将氧气通过2~3个相互串联的、温度可调的、装有液态H2O的器皿，H2O通过蒸发或被O2带出来形成H2O、O2混合气体，然后将H2O、O2混合气体通入石英管式加热炉中；4）将步骤3）热分解后的凝胶干膜，连同其基片放入石英管式烧结炉中，在H2O、O2混合气氛下进行高温煅烧；所述H2O、O2混合气氛中，H2O的体积百分比为1.3~8vol%；高温煅烧时，以5~10℃/min的速率升温至700~750℃，保温30~100min后随炉冷却至室温，在基片上形成导电薄膜；H2O、O2混合气氛的实现方法如下：将氧气通过2~3个相互串联的、温度可调的、装有液态H2O的器皿，H2O通过蒸发或被O2带出来形成H2O、O2混合气体，然后将H2O、O2混合气体通入石英管式烧结炉中。