[发明专利]基于模型的度量及过程模型的经整合使用

摘要

本发明揭示用于基于整合基于度量的目标模型及基于过程的目标模型的测量模型来执行测量的方法及系统。采用经整合测量模型的系统可用于测量一或多个目标的结构及材料特性，且还可用于测量过程参数值。可按若干不同方法将基于过程的目标模型与基于度量的目标模型整合。在一些实例中，基于所述基于过程的目标模型来确定对度量模型参数的值的范围的约束。在一些其它实例中，所述经整合测量模型包含由所述基于过程的目标模型所约束的所述基于度量的目标模型。在一些其它实例中，基于所述过程模型，依据其它度量模型参数来表示一或多个度量模型参数。在一些其它实例中，将过程参数代入所述度量模型。

主权项

一种方法，其包括：接收与通过度量工具对目标结构的测量相关联的一定量的测量数据；基于所述量的测量数据到所述目标结构的经整合测量模型的拟合来确定表征所述目标结构的一组参数值，其中所述经整合测量模型是基于基于过程的目标模型及基于度量的目标模型；及将所述组参数值存储于存储器中。