[发明专利]用于激光光学地检测试样表面运动的方法和设备在审

专利信息
申请号: 201380065428.8 申请日: 2013-10-30
公开(公告)号: CN104854433A 公开(公告)日: 2015-08-19
发明(设计)人: B·J·赖廷格 申请(专利权)人: 费尔有限公司;无损检测研究中心有限公司
主分类号: G01H9/00 分类号: G01H9/00;G01B9/02
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 邓斐
地址: 奥地利*** 国省代码: 奥地利;AT
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摘要: 发明涉及一种用于激光光学地检测试样(1)表面运动的方法,在该方法中,第一基准射线(10)与对准试样(1)的并且由该试样反射的第一测量射线(12)在第一光折变/电光元件(4)内叠加。附加地,基本上与所述第一基准射线(10)相同的第二基准射线(11)和基本上与所述第一测量射线(12)相同的第二测量射线(13)在第二光折变/电光元件(5)内叠加。在此,给两个光折变/电光元件(4,5)施加彼此相反的电压。有光折变/电光元件(4、5)射出的管线转换为电信号,这些电信号在信号分析处理之前彼此相减。另外,列出用于实施所述方法的配置组件。
搜索关键词: 用于 激光 光学 检测 试样 表面 运动 方法 设备
【主权项】:
用于激光光学地检测试样(1)表面运动的方法,在该方法中,由激光射线(3)获得的第一基准射线(10)与由所述的激光射线(3)获得的、对准试样(1)的并且由这个试样反射的第一测量射线(12)在第一光折变/电光元件(4)内叠加,并且由所述第一光折变/电光元件(4)中射出的光线转换成第一电信号并且接着得到分析处理,其特征在于:基本上与所述第一基准射线(10)相同的第二基准射线(11)和基本上与所述第一测量射线(12)相同的第二测量射线(13)在第二光折变/电光元件(5)内叠加,并且由该第二光折变/电光元件(5)中射出的光线转换为第二电信号,在分析处理前从所述第一电信号中将所述第二电信号减去,其中,给两个光折变/电光元件(4,5)施加彼此相反的电压。
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