[发明专利]位移测量方法以及位移测量装置在审
| 申请号： | 201380059806.1 | 申请日： | 2013-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN104797904A | 公开（公告）日： | 2015-07-22 |
| 发明（设计）人： | 松井优贵;菅孝博;泷政宏章 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01C3/06 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 金相允;向勇 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种作为位移测量装置的共焦点测量装置(100)。该共焦点测量装置(100)具有：白色LED(21)，出射多个波长的光；头部(10)，以衍射透镜(2)、物镜(3)、开口作为共焦点光学系统而构成；移动机构(40)，使头部(10)沿着共焦点测量装置(100)的测量轴(Z轴)方向移动；测量部(控制器部(20))。共焦点测量装置(100)使头部(10)与测量对象物(200)之间的距离变化，来取得通过开口的光的光谱的极大点。共焦点测量装置(100)将该极大点成为分光反射特性的极大点或者极小点时的距离，设定为当测量位移时的头部(10)与测量对象物之间的基准距离。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 测量方法 以及 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种位移测量方法，使具有扩散的光谱的光从点状光源出射，使所述光产生轴向色差，并且利用光学元件使产生该轴向色差的光会聚于测量对象物上，在利用所述光学元件会聚的光中，使聚焦于所述测量对象物上的光通过开口，求出通过所述开口的光的光谱，基于所述光谱的峰波长，求出所述光学元件与所述测量对象物之间的距离，该位移测量方法的特征在于，包括：求出所述测量对象物的分光反射特性的步骤，使用求出的所述分光反射特性，来求出所述距离，以减轻该分光反射特性给距离测量带来的误差。
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