[发明专利]用于致动光学系统中的至少一个光学元件的装置在审
| 申请号： | 201380058502.3 | 申请日： | 2013-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN104781715A | 公开（公告）日： | 2015-07-15 |
| 发明（设计）人： | M.豪夫;A.沃格勒 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B7/18 | 分类号： | G02B7/18;G02B7/182;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于致动光学系统、尤其是投射曝光设备的光学系统中的光学元件的装置，其中，所述光学元件(101)通过具有接合件刚度的至少一个接合件(102)能够关于至少一个倾斜轴线倾斜，所述装置包含用于对所述光学元件(101)施加力的至少一个致动器(104)，其中，所述致动器(104)具有致动器刚度，其至少部分地补偿所述接合件刚度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光学系统 中的 至少 一个 光学 元件 装置 | ||
【主权项】：
1.用于致动光学系统中的至少一个光学元件的装置，其中，所述光学元件(101)通过具有接合件刚度的至少一个接合件(102)能够关于至少一个倾斜轴线倾斜，所述装置包含：·至少一个致动器(104)，用于对所述光学元件(101)施加力；·其中，所述致动器(104)具有至少部分地补偿所述接合件刚度的致动器刚度。
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