[发明专利]试样收纳容器、带电粒子线装置及图像获得方法有效
| 申请号： | 201380055784.1 | 申请日： | 2013-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN104756223B | 公开（公告）日： | 2016-10-05 |
| 发明（设计）人： | 大南佑介;河西晋佐;铃木宏征 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/16;H01J37/18;H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 张敬强,严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明的试样收纳容器具备将试样(6)收纳在与外部的环境状态不同的环境状态下的收纳容器(100)；带电粒子线能通过或透过的隔膜(10)；试样载物台(103)，其设于收纳容器(100)的内部，能在将收纳容器(100)的内外环境状态保持为不同的环境状态的状态下，使试样(6)相对于隔膜(10)的相对位置在水平方向及垂直方向上移动；以及操作部(104)，其从收纳容器(100)的外部操作试样载物台(103)的移动，以收纳试样(6)的状态设于带电粒子线装置的真空房间内。 | ||
| 搜索关键词： | 试样 收纳 容器 带电 粒子 线装 图像 获得 方法 | ||
【主权项】：
一种试样收纳容器，在利用通过向试样照射带电粒子线而得到的信号对上述试样的图像进行摄像的带电粒子线装置的机箱内，以使上述机箱内的环境与收纳上述试样的空间内的环境分离的状态，被从上述机箱的外部导入，该试样收纳容器的特征在于，具备：收纳上述试样的收纳容器；上述带电粒子线通过或透过的隔膜；试样载物台，其设于上述收纳容器的内部，能在将上述收纳容器内部的环境状态保持为大气环境或期望的气体环境、将上述收纳容器外部的环境状态保持为真空环境的状态下，使上述试样相对于上述隔膜的相对位置在水平方向及垂直方向上移动；以及操作部，其与上述试样载物台连接，能从上述收纳容器的外部操作上述试样载物台。
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