[发明专利]电光器件堆叠体有效
申请号: | 201380055543.7 | 申请日: | 2013-06-14 |
公开(公告)号: | CN104756274B | 公开(公告)日: | 2017-06-09 |
发明(设计)人: | 贾斯珀·约斯特·迈克尔;保卢斯·威廉默斯·玛丽亚·布洛姆;乔治·托马斯·雅各布·格茨 | 申请(专利权)人: | 荷兰应用自然科学研究组织TNO |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/56;H01L51/48 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 蔡胜有,顾晋伟 |
地址: | 荷兰*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供了制造电光器件堆叠体(10)的方法,该方法包括设置包括接触电荷注入层(12)的电光层(13)的多层结构,电荷注入层(12)包含酸性化合物(12m);在电光层(13)上沉积抗蚀剂层(14),抗蚀剂层(14)包含可阳离子交联的抗蚀剂材料(14m);通过由来自电荷注入层(12)的质子(12p)而引发的交联反应来使抗蚀剂材料(14m)在与电光层(13)中的缺口(12’、13’)相邻处进行反应,由此用包含交联的抗蚀剂材料(14c)的补片(14p)来覆盖所述缺口(12’、13’);以及去除抗蚀剂材料(14m)的没有交联的部分,其中补片(14p)被保留为布置成用于在电荷注入层(12)与后续沉积在电光层(13)和补片(14p)上的层之间提供电绝缘。 | ||
搜索关键词: | 电光 器件 堆叠 | ||
【主权项】:
一种制造电光器件堆叠体(10)的方法,所述方法包括:‑提供接触电光层(13)的电荷注入层(12),所述电荷注入层(12)包含引发剂化合物(12p);‑在所述电光层(13)上沉积抗蚀剂层(14),所述抗蚀剂层(14)包含与所述引发剂化合物(12p)反应的抗蚀剂材料(14m);‑通过由来自所述电荷注入层(12)的所述引发剂化合物(12p)而引发和/或催化的反应来使所述抗蚀剂材料(14m)在与所述电光层(13)中的缺口相邻处进行反应,由此形成覆盖所述缺口的经反应的抗蚀剂材料的补片(14p);以及‑去除所述抗蚀剂材料的没有反应的部分,其中,所述补片(14p)被保留为布置成用于在所述电荷注入层(12)与后续沉积在所述电光层(13)和所述补片(14p)上的层(15)之间提供电绝缘。
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