[发明专利]蚀刻方法有效
| 申请号： | 201380054561.3 | 申请日： | 2013-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN104736745B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 中村纪和 | 申请（专利权）人： | 株式会社御牧工程 |
| 主分类号： | C23F1/00 | 分类号： | C23F1/00;B05D3/10;H01L21/027;H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇,李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种蚀刻方法，其特征在于，作为解决手段，通过用腐蚀剂使对象物(11)的表面(11a)腐蚀来加工表面(11a)，其具备抗蚀膜形成步骤在表面(11a)喷墨印刷抗蚀液，从而在表面(11a)利用抗蚀液形成抗蚀膜(12)；表面腐蚀步骤通过使腐蚀剂接触在抗蚀膜形成步骤形成了抗蚀膜(12)的对象物(11)的表面(11a)侧，使表面(11a)中没有形成抗蚀膜(12)的部分腐蚀；和抗蚀膜剥离步骤在表面腐蚀步骤之后从表面(11a)剥离抗蚀膜(12)，抗蚀膜形成步骤是利用含有单官能单体或单官能低聚物和多官能单体或多官能低聚物的抗蚀液形成抗蚀膜(12)的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 方法 | ||
【主权项】：
一种蚀刻方法，其特征在于，其是通过用腐蚀剂使对象物的表面腐蚀来加工所述表面的蚀刻方法，其包括：抗蚀膜形成步骤：在所述表面喷墨印刷抗蚀液，从而在所述表面利用所述抗蚀液形成抗蚀膜；表面腐蚀步骤：通过使所述腐蚀剂接触在所述抗蚀膜形成步骤形成了所述抗蚀膜的所述对象物的表面侧，使所述表面中没有形成所述抗蚀膜的部分腐蚀；和抗蚀膜剥离步骤：在所述表面腐蚀步骤之后从所述表面剥离所述抗蚀膜，所述抗蚀膜形成步骤是利用含有单官能单体或单官能低聚物和作为多官能低聚物的胺改性丙烯酸低聚物的所述抗蚀液形成所述抗蚀膜的步骤，所述表面腐蚀步骤是通过液体的腐蚀剂使所述对象物的表面腐蚀的湿式蚀刻；或者是通过气体的腐蚀剂使所述对象物的表面腐蚀的干式蚀刻。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社御牧工程，未经株式会社御牧工程许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380054561.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
