[发明专利]锥形流化床反应器及其使用方法有效
申请号: | 201380044277.8 | 申请日: | 2013-08-26 |
公开(公告)号: | CN104583122B | 公开(公告)日: | 2017-09-05 |
发明(设计)人: | 约翰·V·布奇;雷蒙德·安东尼·库科;马克斯·E·德蒂亚;帕特里克·J·哈德;S·B·雷迪·卡里;泰德·M·诺尔顿;迈克尔·J·莫尔纳 | 申请(专利权)人: | 赫姆洛克半导体运营有限责任公司 |
主分类号: | C01B33/027 | 分类号: | C01B33/027;B01J8/18;B01J8/24;B01J8/44 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 | 代理人: | 汤慧华,郑霞 |
地址: | 美国密*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种流化床反应器,其包括气体分配器、位于所述气体分配器上方的锥形区段以及位于所述锥形区段上方的扩展头部。所述气体分配器限定多个围绕产物抽吸管的入口,所述产物抽吸管远离所述流化床反应器延伸。所述流化床反应器可用于诸如Geldart B类颗粒和/或Geldart D类颗粒的相对大的颗粒的流化方法,其中所述颗粒处于完全或部分地位于所述锥形区段中的鼓泡流化床中。所述流化床反应器和方法可用于制造多晶硅。 | ||
搜索关键词: | 锥形 流化床 反应器 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
一种在流化床反应器中制备多晶硅的方法,包括:a.将包含氢和含有硅单体的具有硅的源气体的气体供给到容纳有硅颗粒的鼓泡流化床中,其中所述鼓泡流化床的至少一部分位于所述流化床反应器的锥形区段中,其中所述锥形区段以偏离垂直方向的一定圆锥角向上及向外扩展;b.将硅颗粒供给到所述流化床反应器中所述锥形区段的上方;c.加热所述流化床反应器,从而使所述硅单体发生热分解以在所述硅颗粒的表面上产生多晶硅,从而产生较大直径的颗粒;以及d.从所述流化床反应器移除所述较大直径的颗粒;e.其中所述流化床反应器还包括位于所述锥形区段之下的气体分配器,其中i.将产物抽吸管安装到所述气体分配器上,ii.所述气体分配器限定多个围绕所述产物抽吸管的进料入口,并且iii.所述进料入口位于所述产物抽吸管与所述气体分配器的外边缘之间,并且iv.所述气体分配器形成多个气泡,以及f.通过所述进料入口将所述具有硅的源气体供给到所述流化床反应器中,以及g.通过所述产物抽吸管从所述流化床反应器移除所述较大直径的颗粒。
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