[发明专利]玻璃基板的研磨方法在审
| 申请号： | 201380039310.8 | 申请日： | 2013-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN104487395A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 鸟井秀晴 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | C03C19/00 | 分类号： | C03C19/00;B24B1/00;B24D3/00;G11B5/84 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 于洁;王海川 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种玻璃基板的研磨方法，包括使用第一研磨砂轮对玻璃基板进行研磨的第一研磨工序和使用平均粒径比所述第一研磨砂轮的平均粒径小的第二研磨砂轮对所述玻璃基板进行研磨的第二研磨工序，所述第二研磨砂轮包含含有粒径为0.5～10μm的二氧化铈磨粒和粒径为0.5～10μm的金刚石磨粒的研磨磨粒以及由弹性模量为2.5～3GPa的聚酰亚胺树脂构成的结合剂。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 研磨 方法 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板的研磨方法，包括：使用第一研磨砂轮对玻璃基板进行研磨的第一研磨工序、和使用平均粒径比所述第一研磨砂轮的平均粒径小的第二研磨砂轮对所述玻璃基板进行研磨的第二研磨工序，所述第二研磨砂轮包含含有平均粒径为0.5～10μm的二氧化铈磨粒和平均粒径为0.5～10μm的金刚石磨粒的研磨磨粒以及由弹性模量为2.5～3GPa的聚酰亚胺树脂构成的结合剂。
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