[发明专利]具有同轴RF馈送及同轴遮罩的对称的感应性耦合等离子体源

摘要

一种等离子体反应器具有架空的多线圈感应等离子体源，该等离子体源具有对称RF馈送及围绕该对称RF馈送的对称RF遮罩。

主权项

一种等离子体反应器包含：视窗组件；与所述视窗组件相邻的内层线圈天线、中间线圈天线及外层线圈天线，及分别耦接至所述内层线圈天线、所述中间线圈天线及所述外层线圈天线的内部电流分配器、中间电流分配器及外部电流分配器；顶板，所述顶板覆盖所述视窗组件及所述顶板处的第一RF功率端子、第二RF功率端子及第三RF功率端子；第一轴向RF功率馈送、第二轴向RF功率馈送及第三轴向RF功率馈送，在所述第一RF功率端子、所述第二RF功率端子及所述第三RF功率端子的各别端子与所述内部电流分配器、所述中间电流分配器及所述外部电流分配器的各别分配器之间连接；其中所述第三轴向RF功率馈送包含中空轴向外部RF功率分配圆筒，所述中空轴向外部RF功率分配圆筒环绕所述第一轴向RF功率馈送及所述第二轴向RF功率馈送。