[发明专利]热式空气流量传感器

摘要

本发明的目的在于在进行使半导体元件的一部分部分地露出的树脂封固的情况下，提高产品的可靠性。为了达成上述目的，本发明的热式空气流量传感器的特征在于，包括半导体基板，其具有薄壁部、设置在上述薄壁部上的发热电阻体和设置在上述发热电阻体的上下游的测温电阻体；设置在上述半导体基板上的保护膜；和将上述半导体基板封固的树脂，上述树脂具有使包括上述薄壁部的区域部分地露出的露出部，上述保护膜设置成围绕上述发热电阻体，上述有机保护膜的外周端部比上述薄壁部靠外侧且位于上述露出部。

主权项

一种热式空气流量传感器，其特征在于，包括：半导体基板，其包括薄壁部、设置在所述薄壁部的发热电阻体和设置在所述发热电阻体的上下游的测温电阻体；设置在所述半导体基板上的保护膜；和封固所述半导体基板的树脂，其中所述树脂具有使包括所述薄壁部的区域部分地露出的露出部，所述保护膜以无间断地围绕所述发热电阻体的方式设置，所述保护膜的外周端部比所述薄壁部靠外侧且位于所述露出部。