[发明专利]多层结构体和使用其的设备、以及它们的制造方法有效
| 申请号： | 201380030951.7 | 申请日： | 2013-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN104349895B | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 中谷正和;东田昇;吉田健太郎;佐佐木良一;柴田学;尾下龙也 | 申请（专利权）人： | 株式会社可乐丽 |
| 主分类号： | B32B9/04 | 分类号： | B32B9/04;B32B27/08;B32B27/30;B32B27/36;B32B7/12;B32B37/02;H01L31/049 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 高旭轶,刘力 |
| 地址： | 日本冈山县*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供可在设备的保护中使用的新的多层结构体和使用其的设备。公开的多层结构体是含有基材和在该基材上叠层的阻挡层的多层结构体。该基材的、至少一个方向的3%应变时的张力为2000N/m以上。阻挡层含有反应产物（R）。该反应产物（R）是至少金属氧化物（A）与磷化合物（B）反应而成的反应产物。在800～1400cm‑1范围的阻挡层的红外线吸收光谱中，红外线吸收最大的波数（n1）为1080～1130cm‑1的范围。构成金属氧化物（A）的金属原子实质上为铝原子。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 结构 使用 设备 以及 它们 制造 方法 | ||
【主权项】：
多层结构体，其包含基材和在上述基材上层叠的阻挡层，其中，上述基材的至少一个方向的3%应变时的张力为2000N/m以上，该3%应变时的张力是指在23℃50%RH的条件下测定的、将某方向的长度为单位长度（1m）的基材沿与该方向垂直的方向拉伸3%时的张力，上述阻挡层含有反应产物（R），上述反应产物（R）是至少金属氧化物（A）与磷化合物（B）反应而成的反应产物，在800～1400cm‑1的范围的上述阻挡层的红外线吸收光谱中，红外线吸收最大的波数（n1）为1080～1130cm‑1的范围，构成上述金属氧化物（A）的金属原子实质上是铝原子，进一步含有1层以上的无机蒸镀层。
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