[发明专利]用于处理前级真空管线中废气的设备有效
| 申请号： | 201380021125.6 | 申请日： | 2013-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN104247575B | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·S·考克斯;科林·约翰·迪金森 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/3065;H01L21/205 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在一些实施方式中，一种用于处理在基板处理系统的前级真空管线中的废气的设备，所述设备可包括介电管，所述介电管经配置以耦接至基板处理系统的前级真空管线，以允许废气从前级真空管线流动通过介电管；射频线圈，所述射频线圈围绕介电管的外表面卷绕，所述射频线圈具有第一端以提供射频输入至射频线圈，射频线圈的第一端靠近介电管的第一端，且射频线圈的第二端靠近介电管的第二端；分接头，所述分接头耦接至射频线圈以提供射频回程路径，所述分接头位于介电管的第一端与介电管的中央部分之间。 | ||
| 搜索关键词： | 介电管 射频线圈 真空管线 第一端 分接头 前级 基板处理系统 废气 耦接 回程路径 射频输入 卷绕 射频 配置 流动 | ||
【主权项】：
1.一种用于处理基板处理系统的前级真空管线中的废气的设备，所述设备包括：介电管，所述介电管经配置以耦接至所述基板处理系统的所述前级真空管线，以允许废气从所述前级真空管线流动通过所述介电管；射频线圈，所述射频线圈围绕所述介电管的外表面卷绕，所述射频线圈具有第一端，以提供射频输入至所述射频线圈，所述射频线圈的第一端靠近所述介电管的第一端，且所述射频线圈的第二端靠近所述介电管的第二端；和分接头，所述分接头耦接至所述射频线圈，以提供射频回程路径，所述分接头位于所述介电管的第一端与所述介电管的中央部分之间。
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