[发明专利]含Li磷酸化合物烧结体和溅射靶，及其制造方法

摘要

本发明提供一种不会发生靶的裂纹和异常放电，能够稳定地并以高的成膜速度成膜为作为二次电池等的固体电解质有用的含Li磷酸化合物薄膜，兼备高相对密度和微细的晶粒直径，并且抑制了气孔等缺陷(空隙)的含Li磷酸化合物烧结体。本发明的含Li磷酸化合物烧结体具有以下要旨在烧结体内部的截面1mm2的区域中不存在50μm以上的缺陷，平均晶粒直径在15μm以下，相对密度在85％以上。

主权项

一种含Li磷酸化合物烧结体，其特征在于，其是含有Li3PO4相和杂质相Li4P2O7相的含Li的磷酸化合物烧结体，在烧结体内部的截面1mm2的区域中不存在50μm以上的缺陷，平均晶粒直径在15μm以下，相对密度为85％以上，所述烧结体的通过粉末X射线衍射得到的Li3PO4相的(011)面的衍射强度P314与Li4P2O7相的(1‑11)面的衍射强度P427的强度比为P314/P427≥1.1。