[发明专利]多晶硅的晶体取向度评价方法以及多晶硅棒的选择方法

摘要

针对从多晶硅棒采集的圆板状试样(20)进行评价时，会在扫描图表中出现峰值。这种峰值的个数越少，或者其半峰宽越窄，越适合用作单晶硅制造用原料。扫描图表中出现的峰值的个数，对于米勒指数面<111>及<220>的任一个，优选在圆板状试样的每单位面积的换算下为24根/cm2以下。并且，将圆板状试样的半径设为R0时，将上述峰值的半峰宽乘以δL＝21/2πR0/360得到的值定义为非均质晶体粒径，优选将该非均质晶体粒径均小于0.5mm的试样选择作为单晶硅制造用原料。

主权项

一种多晶硅的晶体取向度评价方法，是通过X射线衍射法评价多晶硅的晶体取向度的方法，其特征在于，将上述多晶硅作为板状试样，将上述板状试样配置于能够检测到来自米勒指数面<hkl>的布拉格反射的位置，以使由狭缝确定的X射线照射区域在上述板状试样的主面上进行扫描的方式以上述板状试样的中心为旋转中心以旋转角度进行面内旋转，求出表示来自上述米勒指数面<hkl>的布拉格反射强度的上述板状试样的旋转角度依赖性的图表，以该图表中出现的峰值的个数来评价多晶硅的晶体取向度。