[发明专利]气体输送系统和气体输送系统的使用方法

摘要

在此提供气体输送系统和气体输送系统的使用方法。在一些实施方式中，气体输送系统可包括第一气体供应器，以沿着第一流动路径提供第一气体；流量分配器，流量分配器设置在第一流动路径中以将第一流动路径划分成通往多个对应的气体输送区的多个第二流动路径；和多个第二气体供应器，第二气体供应器分别耦接至对应的一个第二流动路径，以独立地提供第二气体至多个第二流动路径的相应一个。

主权项

一种气体输送系统，包括：多个第一气体供应器，以沿着第一流动路径提供多个第一气体；流量分配器，所述流量分配器设置在所述第一流动路径中以将所述第一流动路径划分成通往多个对应气体输送区的多个第二流动路径；多个第二气体供应器，所述第二气体供应器的每一个分别耦接至对应的一个所述第二流动路径，以独立地提供第二气体至所述多个第二流动路径的相应一个；第三气体供应器，所述第三气体供应器耦接至所述多个第一气体供应器上游的所述第一流动路径以供应第三气体至所述第一流动路径，以促进所述多个第一气体移动通过所述第一流动路径；对应于所述多个第一气体供应器的多个质量流量控制器，所述质量流量控制器的每一个被设置在对应的一个所述多个第一气体供应器与所述流量分配器之间，以控制所述第一流动路径内的所述多个第一气体的浓度；和流量比控制器，所述流量比控制器耦接至所述多个第二流动路径的每一个，以控制提供至所述多个第二流动路径的每一个的所述多个第一气体和所述第二气体的量。