[实用新型]一种湿法刻蚀机刻蚀装置有效
| 申请号： | 201320833748.0 | 申请日： | 2013-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN203782235U | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 胡伟;叶成枝;肖冠华;杨子衡;吴代吾;侯智 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种湿法刻蚀机刻蚀装置，包括供液总管道与至少两组同心矩形管道，其特征在于：每组矩形管道均经由一供液支管连接至供液总管，矩形管道通过可旋转弯头固定在支撑架上，矩形管道上均布多个喷淋装置。本实用新型通过将喷淋装置进行环状排布以及通过相应阀门控制各矩形管道上流量压力的不同和驱动连杆控制的摆动不同，控制基板各区域的刻蚀速率，从而达到控制线宽、改善坡度角、提高刻蚀均一性的目的，进而提高基板刻蚀的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 湿法 刻蚀 装置 | ||
【主权项】：
一种湿法刻蚀机刻蚀装置，包括供液总管道与至少两组同心矩形管道，其特征在于：每组矩形管道均经由一供液支管连接至供液总管，并通过可旋转弯头固定在支撑架上，矩形管道上均布多个喷淋装置。
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